一、中华民国时期
北洋政府（1912—1928）
辛亥革命推翻清政府以后，由北洋政府统治了十七年（1912—1928），几乎完全继承了清代的省制。但实际只有22省，因为1895年台湾省被迫割给日本。此外，还设立了相当于省的机构：
1．五个“特别行政区”：热河、察哈尔、绥远（蒙满汉杂居），川边（后改为西康，汉藏羌杂居），京兆（京师顺天府）。
2．青海、外蒙古、西藏三个地区，系蒙藏聚居区。
3．宁夏护军使辖地。管辖河套西蒙古二旗（阿拉善额鲁特，额济纳旧土尔扈特）。
4．一个在省内自成单位的特例：“东省特别行政区”，即中东铁路沿线各地，中俄杂居，帝俄享有特权，关系复杂，长春以南至大连的南满铁路属日本。
精简清朝各级地方行政制度的层次，省以下机构废除府、州、厅等，只设省、县二级。
不久因每省辖县过多。1914年袁世凯宣布：每省下分设若干道，道下辖县，省的长官称“督军”；道的长官初称“观察使”，后改“道尹”；县称“县知事”。这样又在省县中间插入了一级行政机构，道依据辖区宽狭，人口财赋多寡，事务繁简，形势是否重要，全国共有约九十多个。道的驻地由内务部就辖区内选位置适当的县，也有就在省会，迁移须上报核准。这些道的划分和驻地的选择，为中华民国中期至中华人民共和国时期在省县之间设立若干行政督察专员公署的专区划分框定了格局。
中华民国
1928年蒋介石国民党政府统一中国，从北京迁都南京，将热河、察哈尔、绥远、青海特别区改为省，川边改称：西康省，直隶改称：河北省，京兆顺天府改作北平直辖市，奉天改称：辽宁省，新设宁夏省，加上原有的22省，这样1929年时全国共有28省，2个地方：西藏、蒙古，以及六个直辖市：南京、上海、北平、天津、青岛、西安，当时称“特别市”。1930年称“中央院辖市”，同时取消“道”级政区。恢复省、县二级制。1932年以后陆续在省县之间又分设若干专区，由行政督察专员领导，作为省政府的派出机关。但严格地说：专区还不能称正式行政区单位。
1932年，全国共28个省，首都是南京
江苏（镇江县）、 浙江（杭县）、 安徽（怀宁）、 江西（南昌）、
湖北（武昌）、 湖南（长沙）、 四川（成都）、 河北（北平）、
山东（历城）、 河南（开封）、 山西（阳曲）、 陕西（长安）、
甘肃（皋兰）、 宁夏（宁夏）、 青海（西宁）、 福建（闽侯）、
广东（番禺）、 广西（邕宁）、 云南（昆明）、 贵州（贵阳）、
辽宁（沈阳）、 吉林（吉林）、 黑龙江（龙江）、 热河（承德）、
察哈尔（万全）、 绥远（归绥）、 新疆（迪化）、 西康（康定）
1945年抗日战争胜利，行政区划又作了相应的调整：
① 收回被日本强占半个世纪的台湾省；
② 将东北三省划分为九省；
③ 外蒙古于1946年１月独立，脱离中国政府。外蒙古历史上是中国的一部分，1911年，沙俄策动“自治”，1921年，蒙古革命胜利，宣布独立；1924年，中苏协定规定：苏联承认外蒙古为完全中华民国之一部分。1945年雅尔塔会议苏美英三国秘约以外蒙古独立、大连港国际化，换取苏联在对德战争结束后参加对日本作战，实际损害了中国政府的主权和领土完整。
1947年旧中国的第一级行政区为：
中央院辖市12个：南京、上海、北平、天津、重庆、大连、哈尔滨、汉口、广州、沈阳、西安、青岛。
省35个：江苏（镇江）、浙江（杭州）、安徽（合肥）、江西（南昌）、湖北（武昌）、湖南（长沙）、四川（成都）、西康（康定）、福建（福州）、台湾（台北）、广东（广州）、广西（桂林）、云南（昆明）、贵州（贵阳）、河北（清苑，保定前称）、山东（济南）、河南（开封）、山西（太原）、陕西（西安）、甘肃（兰州）、青海（西宁）、辽宁（沈阳）、安东（通化）、辽北（辽源）、吉林（吉林）、松江（牡丹江）、合江（佳木斯）、黑龙江（北安）、嫩江（齐齐哈尔）、兴安（海拉尔）、热河（承德）、察哈尔（张桓）、绥远（归绥）、宁夏（银川）、新疆（迪化）
地方一个：西藏（拉萨）